应用

太阳能

太阳能的生产过程使用有害物质，会污染环境

集成电路芯片

集成电路制造过程中的每个步骤将产生有毒和有害的气体

半导体照明

半导体照明将成为在市场最有潜在性的应用程式，例如电视的大型液晶屏幕

平板显示器

平板显示器在薄膜、蚀刻、掺杂、气象沉积和扩散过程等工艺中使用。在这个过程中大约使用了50种不同类型的气体。