CDO C91

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CDO C91 - 整体热式与湿式治理
CDO-C91

CDO C91 - 整体热式与湿式治理

应用

  • 多晶硅
  • 化学气相沉积 (CVD)
  • 自燃/易燃气体燃烧
  • 气柜通风清除

类别：

燃烧 / 水洗系统 (CDO)

描述

优点
  • 容错加热器设计
  • 沉淀舱
  • 颗粒分离系统
  • 有限的NOx和CO排放
  • 低水耗和循环水系统
  • 易于使用和维护
  • 可选配件
  • 第三方认证，符合SEMI S2标准，带CE标志
  • 支持以太网
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