Vector V91

水洗系统 (Vector) /

Vector V91 - 湿式治理

VECTOR-V91

VECTOR V91 - 湿式治理

应用

外延生长
可溶于水的气体
AsH₃（砷烷），PH₃（磷烷）

类别：

水洗系统 (Vector)

描述

优点

多级洗涤
高流量容量
减少水耗
循环水系统
低成本拥有权
安装和维护方便
进气压力控制和自清洁机制
符合SEMI S2标准，带有CE标志
支持以太网

英文手册 >

我们随时为您提供支持

点击下方与我们的商业顾问联系

联系我们 >