應用

太陽能

太陽能的生產過程使用有害物質，會污染環境

集成電路芯片

集成電路製造過程中的每個步驟將產生有毒和有害的氣體

半導體照明

半導體照明將成為市場上最具潛力的應用，例如大型液晶顯示屏

平板顯示器

平板顯示器在薄膜、蝕刻、摻雜、氣象沉積和擴散過程等工藝中使用。在這個過程中大約使用了50種不同類型的氣體。