Marathon M91AU

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綜合式尾氣處理系統 (Marathon) / 

Marathon M91AU - 整體等離子氣化與濕式治理
MARATHON-M91AU

MARATHON M91AU - 整體等離子氣化與濕式治理

應用

  • 所有半導體和平板顯示器

類別：

綜合式尾氣處理系統 (Marathon)

描述

優點
  • 每個反應器3個進氣口
  • 雙反應器
  • 容錯設計
  • 無需燃料或氫氣
  • 低功耗
  • 優良的PFCs減排效率
  • 有限的NOx和CO排放
  • 高流量容量
  • 低成本擁有權
  • 安裝和維護方便
  • 符合SEMI S2標準，帶有CE標誌
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