Vector V91

水洗系統 (Vector) /

Vector V91 - 濕式治理

VECTOR-V91

VECTOR V91 - 濕式治理

應用

外延生長
可溶於水的氣體
AsH₃（砷烷），PH₃（磷烷）

類別：

水洗系統 (Vector)

描述

優點

多級洗滌
高流量容量
減少水耗
循環水系統
低成本擁有權
安裝和維護方便
進氣壓力控制和自清潔機制
符合SEMI S2標準，帶有CE標誌
支持以太網

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