關於我們

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Ecosys產品線於1993年由ATMI Inc.首次引入半導體行業。這一年,ATMI Inc.成立了Ecosys部門,以補充對Vector Industries的收購以及現有的Novapure(幹樹脂)產品線。

ECOSYS歷史

1989年– ATMI開發樹脂技術並推出Novapure系列

1993年– ATMI收購Vector Technologies並成立EcoSys集團

1996年– ATMI從MG Technologies集團收購了Guardian

1999年– ATMI從Delatech Corporation收購了CDO

2001年– 創建ATMI Material Lifecycle Solutions(MLS)

2005年– Applied Materials從ATMI-AMAT收購了EcoSys部門並將EcoSys合併為新的Metron部門

2011年– BHT Services從Applied Materials收購了減排產品線

2014年– HT Advance Technology重新推出EcoSys品牌

2017年– 成立安安徽凱乾自動化設備有限公司,處理Ecosys產品的製造,銷售和售後服務

2019年– 公司更名為AnHui EcoSys Automation Solutions Co., Ltd 安徽益科斯自動化設備有限公司

EcoSys Products

Plasma

Modular (pre or post pump)

No fuel required

Power consumption :1kW~6kW

  • 400slm & 800slm capacity
  • Zero flame-out
  • LM (low maintenance up to 12 months)
  • Exhaust friendly
  • Pre-wet
  • Dual reactor
  • 2/3 of GS8 length
  • ≥800°C
  • Less dependent of facility exhaust
  • Dust removal option
  • Dual reactor
  • 600slm
  • ≥1000°C
  • Pre-wet
  • Dual reactor
  • Capture 90% of ≥10µm particles
  • Maintain Vector high efficiency on water soluble gases

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