关于我们

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Ecosys产品线于1993年由ATMI Inc.首次引入半导体行业。这一年,ATMI Inc.成立了Ecosys部门,以补充对Vector Industries的收购以及现有的Novapure(干树脂)产品线。

ECOSYS历史

1989年– ATMI开发树脂技术并推出Novapure系列

1993年– ATMI收购Vector Technologies并成立EcoSys集团

1996年– ATMI从MG Technologies集团收购了Guardian

1999年– ATMI从Delatech Corporation收购了CDO

2001年– 创建ATMI Material Lifecycle Solutions(MLS)

2005年– Applied Materials从ATMI-AMAT收购了EcoSys部门并将EcoSys合并为新的Metron部门

2011年– BHT Services从Applied Materials收购了减排产品线

2014年– HT Advance Technology重新推出EcoSys品牌

2017年– 成立安安徽凯乾自动化设备有限公司,处理Ecosys产品的制造,销售和售后服务

2019年– 公司更名为AnHui EcoSys Automation Solutions Co., Ltd 安徽益科斯自动化设备有限公司

EcoSys Products

Plasma

Modular (pre or post pump)

No fuel required

Power consumption :1kW~6kW

  • 400slm & 800slm capacity
  • Zero flame-out
  • LM (low maintenance up to 12 months)
  • Exhaust friendly
  • Pre-wet
  • Dual reactor
  • 2/3 of GS8 length
  • ≥800°C
  • Less dependent of facility exhaust
  • Dust removal option
  • Dual reactor
  • 600slm
  • ≥1000°C
  • Pre-wet
  • Dual reactor
  • Capture 90% of ≥10µm particles
  • Maintain Vector high efficiency on water soluble gases

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