產品

CDO 863 – 導熱-水洗處理器

應用

 

  • 所有半導體和平板顯示器。
  • 太陽能電池板行業。
  • 基於氟的處理室清潔。
分類:
描述

優點

 

  • 專為無需燃料或有毒試劑的使用點減少氟而設計。
  • 將用來處理來自多個過程出口的不相容氣體。
  • 通過迴圈水系統減少用水量。
  • 防堵塞設計。
  • 最低的擁有成本。
  • 採用先進合金以提高抗腐蝕性。
  • 易於安裝,帶標準加壓排水。
  • 易於安裝和服務。
  • SEMI S2 認證及 CE-mark 認證。
  • 備有乙太網。

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