CDO 863 – 導熱-水洗處理器 - EcoSys Group
 

CDO 863 – 導熱-水洗處理器

優點

 

  • 專為無需燃料或有毒試劑的使用點減少氟而設計
  • 將用來處理來自多個過程出口的不兼容氣體
  • 通過循環水系統減少用水量
  • 防堵塞設計
  • 最低的擁有成本
  • 採用先進合金以提高抗腐蝕性
  • 易於安裝,帶標準加壓排水
  • 易於安裝和服務
  • SEMI S2 認證及 CE 標誌認證
  • 備有以太網
分類:
描述

應用

 

  • 所有半導體和平板顯示器
  • 平板顯示行業
  • 太陽能電池板行業
  • 基於氟的處理室清潔

 

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