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CDO 863 – 導熱-水洗處理器
優點
專為無需燃料或有毒試劑的使用點減少氟而設計
將用來處理來自多個過程出口的不兼容氣體
通過循環水系統減少用水量
防堵塞設計
最低的擁有成本
採用先進合金以提高抗腐蝕性
易於安裝,帶標準加壓排水
易於安裝和服務
SEMI S2 認證及 CE 標誌認證
備有以太網
分類:
燃燒/ 水洗系統
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描述
應用
所有半導體和平板顯示器
平板顯示行業
太陽能電池板行業
基於氟的處理室清潔
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CDO C91 – 集成導熱-水洗處理器