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燃烧/ 水洗系统
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CDO C91 – 集成导热-水洗处理器
CDO C91 – 集成导热-水洗处理器
应用
多晶硅
CVD
自燃/可燃气体燃烧
气柜排气净化
Category:
燃烧/ 水洗系统
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Description
优点
容错加热器设计
沉淀室
颗粒分离系统
有限的 NOx 和 CO 排放
低耗水量和循环水系统
易于使用和维护
可选配件
第三方认证,符合 SEMI S2,CE 标志认证
备有以太网
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