CDO C91 – 集成导热-水洗处理器 - Ecosys
 

CDO C91 – 集成导热-水洗处理器

应用

 

  • 多晶硅
  • CVD
  • 自燃/可燃气体燃烧
  • 气柜排气净化
分类:
描述

优点

 

  • 容错加热器设计
  • 沉淀室
  • 颗粒分离系统
  • 有限的 NOx 和 CO 排放
  • 低耗水量和循环水系统
  • 易于使用和维护
  • 可选配件
  • 第三方认证,符合 SEMI S2,CE 标志认证
  • 备有以太网

 

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