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燃燒/ 水洗系統
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CDO C91 – 集成導熱-水洗處理器
CDO C91 – 集成導熱-水洗處理器
應用
多晶矽
CVD
自燃/可燃氣體燃燒
氣櫃排氣淨化
Category:
燃燒/ 水洗系統
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Description
優點
容錯加熱器設計
沉澱室
顆粒分離系統
有限的 NOx 和 CO 排放
低耗水量和循環水系統
易於使用和維護
可選配件
第三方認證,符合 SEMI S2,CE 標誌認證
備有以太網
下載小冊
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