CDO C91 – 集成導熱-水洗處理器 - EcoSys Group
 

CDO C91 – 集成導熱-水洗處理器

應用

 

  • 多晶矽
  • CVD
  • 自燃/可燃氣體燃燒
  • 氣櫃排氣淨化
分類:
描述

優點

 

  • 容錯加熱器設計
  • 沉澱室
  • 顆粒分離系統
  • 有限的 NOx 和 CO 排放
  • 低耗水量和循環水系統
  • 易於使用和維護
  • 可選配件
  • 第三方認證,符合 SEMI S2,CE 標誌認證
  • 備有以太網

 

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