VECTOR – 水洗減排 - EcoSys Group
 

VECTOR – 水洗減排

應用

 

Vector 3000

  • 工藝外延
  • 蝕刻
  • 鎢CVD

 

Vector 3500

  • 金屬蝕刻

 

Vector 6000

  • 氮化矽
分類:
描述