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Guardian G91L
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Guardian G91L - 燃烧治理
GUARDIAN G91L - 燃烧治理
应用
多晶硅
化学气相沉积 (CVD)
自燃/易燃气体燃烧
气柜通风清除
配置
落地式安装
类别:
纯燃烧系统 (Guardian)
描述
优点
延长燃烧室以适用于高氢气流应用
低成本拥有权
无需电加热元件,立即冷却
火焰回闪预防系统,确保安全可靠运行
使用天然气燃料
维护要求低
平均无故障时间以年计算
符合SEMI S2标准
带有CE标志
英文手册
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