Guardian G91L

GUARDIAN-G91L

GUARDIAN G91L - 燃烧治理

应用

  • 多晶硅
  • 化学气相沉积 (CVD)
  • 自燃/易燃气体燃烧
  • 气柜通风清除

配置

  • 落地式安装

类别:

纯燃烧系统 (Guardian)

描述

优点
  • 延长燃烧室以适用于高氢气流应用
  • 低成本拥有权
  • 无需电加热元件,立即冷却
  • 火焰回闪预防系统,确保安全可靠运行
  • 使用天然气燃料
  • 维护要求低
  • 平均无故障时间以年计算
  • 符合SEMI S2标准
  • 带有CE标志
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