Guardian G91L

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純燃燒系統 (Guardian) / 

Guardian G91L - 燃燒治理
GUARDIAN-G91L

GUARDIAN G91L - 燃燒治理

應用

  • 多晶矽
  • 化學氣相沉積 (CVD)
  • 自燃/易燃氣體燃燒
  • 氣櫃通風清除

配置

  • 落地式安裝

類別：

純燃燒系統 (Guardian)

描述

優點
  • 延長燃燒室以適用於高氫氣流應用
  • 低成本擁有權
  • 無需電加熱元件，立即冷卻
  • 火焰回閃預防系統，確保安全可靠運行
  • 使用天然氣燃料
  • 維護要求低
  • 平均無故障時間以年計算
  • 符合SEMI S2標準
  • 帶有CE標誌
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