CDO C91

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燃燒 / 水洗系統 (CDO) / 

CDO C91 - 整體熱式與濕式治理
CDO-C91

CDO C91 - 整體熱式與濕式治理

應用

  • 多晶矽
  • 化學氣相沉積 (CVD)
  • 自燃/易燃氣體燃燒
  • 氣櫃通風清除

類別：

燃燒 / 水洗系統 (CDO)

描述

優點
  • 容錯加熱器設計
  • 沉澱艙
  • 顆粒分離系統
  • 有限的NOx和CO排放
  • 低水耗和循環水系統
  • 易於使用和維護
  • 可選配件
  • 第三方認證，符合SEMI S2標準，帶CE標誌
  • 支持以太網
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