Marathon M91U

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Marathon M91U - 整体燃烧与湿式治理
MARATHON-M91U

MARATHON M91U - 整体燃烧与湿式治理

应用

  • 多晶硅
  • 化学气相沉积 (CVD)
  • 自燃/易燃气体燃烧
  • 气柜通风清除

类别：

综合式尾气处理系统 (Marathon)

描述

优点
  • 双反应器
  • 容错能力
  • 低功耗
  • 有限的NOx和CO排放
  • 高流量容量
  • 降低水消耗和循环水系统
  • 低成本拥有权
  • 安装和维护方便
  • 符合SEMI S2标准，带有CE标志
  • 支持以太网连接
  • 提供广泛的可选组件以满足特定需求
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