Marathon M91PD

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Marathon M91PD - 等离子整体燃烧与湿式治理，双反应器
MARATHON-M91PD

MARATHON M91PD - 等离子整体燃烧与湿式治理，双反应器

应用

  • 多晶硅
  • 化学气相沉积 (CVD)
  • 自燃/易燃气体燃烧
  • 气柜通风清除

类别：

综合式尾气处理系统 (Marathon)

描述

优点
  • 双反应器
  • 故障安全功能
  • 低功耗
  • 低成本拥有权
  • 提高的处理能力
  • 提高的减排效率
  • 延长平均故障间隔时间 (MTBS)
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