Marathon M91PD

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綜合式尾氣處理系統 (Marathon) / 

Marathon M91PD - 等離子整體燃燒與濕式治理，雙反應器
MARATHON-M91PD

MARATHON M91PD - 等離子整體燃燒與濕式治理，雙反應器

應用

  • 多晶矽
  • 化學氣相沉積 (CVD)
  • 自燃/易燃氣體燃燒
  • 氣櫃通風清除

類別：

綜合式尾氣處理系統 (Marathon)

描述

優點
  • 雙反應器
  • 故障安全功能
  • 低功耗
  • 低成本擁有權
  • 提高的處理能力
  • 提高的減排效率
  • 延長平均故障間隔時間 (MTBS)
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