Marathon M91

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綜合式尾氣處理系統 (Marathon) / 

Marathon M91 - 整體燃燒與濕式治理
MARATHON-M91

MARATHON M91 - 整體燃燒與濕式治理

應用

  • 多晶矽
  • 化學氣相沉積 (CVD)
  • 自燃/易燃氣體燃燒
  • 氣櫃通風清除

類別：

綜合式尾氣處理系統 (Marathon)

描述

優點
  • 低功耗
  • 有限的NOx和CO排放
  • 高流量容量
  • 減少水耗和循環水系統
  • 低成本擁有權
  • 安裝和維護方便
  • 符合SEMI S2標準，帶有CE標誌
  • 支持以太網
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