Marathon M91AU

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Marathon M91AU - 整体等离子气化与湿式治理
MARATHON-M91AU

MARATHON M91AU - 整体等离子气化与湿式治理

应用

  • 所有半导体和平板显示器

类别：

综合式尾气处理系统 (Marathon)

描述

优点
  • 每个反应器3个进气口
  • 双反应器
  • 容错设计n
  • 无需燃料或氢气
  • 低功耗
  • 优良的PFCs减排效率
  • 有限的NOx和CO排放
  • 高流量容量
  • 低成本拥有权
  • 安装和维护方便
  • 符合SEMI S2标准，带有CE标志
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